从工艺、定义和使用上来说

1。渗碳：分气体渗碳和固体渗碳；渗碳是在奥氏体状态下用活性碳原子饱和零件表面，使零件表面含碳量增加（提高硬度）的一种化学热处理方法。

渗碳的时候也要氮气，但是由于和碳氮共渗温度不同，氮气只是保护气，起到保护的作用。

2。渗氮：气体氮化和固体氮化，气体氮化又分软氮化和硬氮化；（以渗碳为主，氮碳共渗以渗氮为主称做软淡化）。渗氮（软氮化）处理后表面通常呈银灰（蓝黑色）色或暗灰色（蓝黑色），不同材质的工件，氮化（软氮化）后其表面颜色略有区别，钛及钛合金件表面呈金黄色。

3.碳氮共渗：是上两者的结合，即达到渗碳的深度，又达到氮化的硬度，综合性能较优。碳氮共渗是在渗碳的基础上加入活性氮原子。

由于碳、氮原子在钢表面最大饱和度所需的温度不一样，所以三种热处理工艺温度也不一样，渗碳的温度高于碳氮共渗。

综合：在淬火后，渗碳零件表面获的高碳马氏体，碳氮共渗零件表面获得高碳含氮马氏体，由于氮元素的存在，使零件表面耐磨性更好。