单晶硅的生产工艺流程?
2019-08-08
开炉取棒 清扫热场 装料 抽空 检漏 (好的单晶炉还会有压力化这个步骤,为的是让炉体压力达到拉晶的压力条件下) 化料 稳温 引晶 放肩 转肩 等径 收尾 停炉 ,w完整的流程还包括神马单晶送检之类的流程。
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