机台是什么意思？
2021-07-04
机台是指生产加工线上的所有设备，在半导体行业通常称为机台。
机台分为生产和量测两种类型。
1、生产机台是对晶圆进行物理上的加工，对产品的形成具有实际效果。
2、量测机台是用来测量某个加工步骤之后晶圆的一些相关参数，以便及时发现生产线的状况和前面加工步骤的不稳定因素。
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