什么是活性粒子？
2021-11-17
工业和实验室等离子体，一般是采用气体放电的方式产生并通过电源和一定工质气体来维持的。活性粒子主要用于处理污染物，杀菌消毒，还有对材料表面进行化学溅射。
最常见的活性粒子比如羟基，单态氧原子等。这些活性粒子具有极强的氧化性，气体放电产生等离子体是通过高电压将气体电离，比如电离空气，那么会产生这些活性粒子，它们能够长时间存在于等离子体中。
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