mems制造中有哪些科学问题？
2021-05-18
MEMS系统被设计为具有感知、响应和影响环境的能力。作为一个完整系统的一部分，它们意义非凡。MEMS被部署在许多应用中，包括传感、检测、转换、执行和其他需要小尺寸性能和精度的物理技术。
它们可以在许多市场的技术中找到，包括工业、医疗、电信、航空航天和国防。它们的物理尺寸可以从几微米到几毫米不等。
MEMS应用可以采用不同的基本技术，包括压阻、压电、微流体、光调制、热膨胀或其他方法来响应系统的输入。由于MEMS设计涉及电子学、力学和光学，这些技术的工程和制造是高度跨学科的，并应用不同的专业知识。
使用MEMS技术设计一个器件，除了需要电子制造和装配工艺外，还需要电子和机械工程、材料科学、化学、流体学、光学和射频设计方面的工作知识。
现在，MEMS已经被大规模应用，这些设备需要可靠的批量生产。
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