莱宝镀膜机氩气氧气作用?
2021-05-14
1.镀金属膜时,一般用氩气作为工作气体,它是惰性气体,在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。
2.氧气一般用于镀非金属膜,如TiO2,不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。
3.氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体,让真空室内压强和大气压强保持相等,才能开盖换靶镀另一层膜。
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