超净间分级标准？
2022-11-19
根据单位体积尘埃数的不同,超净间分为不同的等级,如表3.9所示。
以直径为0.5um的尘埃作为比较标准,在一立方英寸空间中大于0.5um的尘埃粒子数少于10粒,就称为10级洁净空间,大于0.5um的粒子数少于1000个,就称为1000级洁净空间。
目前许多半导体生产线都要求洁净度为1级。表3.10列出了美国联邦标准209E中各净化间级别对空气漂浮颗粒的限制。
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