单晶硅漏硅怎么处理?
2021-03-31
造成喷硅的原因无非就是温度高和埚位近。喷硅只在刚溶完料、回熔、等径时发生。只要在熔完料时及时降温或降温不及时时埚位稍远,待温度降下来后再升埚位;
回熔时也要及时降温,切记要及时将欧路打回自动;等径时埚跟比要跟好,随时观察液面与热屏的距离,不要太近。能做到这几点就不会发生喷硅事故了!
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