光沉积技术？
2021-09-17
光沉积，就是将激光瞬间聚焦于靶材上一个较小面积上，利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离，使其能够脱离靶材而向基底运动，进而在温度较低的基地上沉积，达到成膜的目的的一种手段。
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