28mm光刻机属于什么水平？
2021-08-06
28nm光刻机属于中端水平。
目前光刻机主要分为高端euv光刻机和中低端duv光刻机。高端机是以13.5nm极紫外光为光源的光刻机。中低端duv基本是195nm甚至更波长更大的。
duv光刻机只能做到25nm的程度，在双工台的加持下能做到接近10nm。但本质还是和euv有极大差别。
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