esi离子源是什么？
2021-02-03
esi离子源是离子束溅射(IBS)和离子束加工(IBF)设备的关键部件。R&R公司的宽离子束源目前主要有Kaufman离子源、微波ECR离子源和RF离子源。
其工作原理是利用气体放电产生等离子体，等离子体由电子、离子和中性粒子所组成，并被引出成束，成为离子源。
主要分为： 1 kaufman离子源 kaufman离子源是应用较早的离子源，属于栅格式离子源。
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