热氧化工艺的作用是什么？
2020-11-19
1.热氧化工艺
热生长氧化法-将硅片置于高温下，通以氧化的气氛，使硅表面一薄层的硅转变为二氧化硅的方法。
1 常见的热氧化工艺类别及特点：
a 干氧氧化：
干氧氧化法-氧化气氛为干燥、纯净的氧气。氧化膜质量最好，但氧化速度最慢。
b水汽氧化：
水汽氧化法-氧化气氛为纯净的水汽。氧化速度最快，但氧化膜质量最差。
c湿氧氧化：
湿氧氧化法-氧化气氛为纯净的氧气+纯净的水汽。氧化膜质量和氧化速度均介于干氧氧化和水汽氧化之间。
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