高阻硅低阻硅区别？
2021-03-06
高阻硅和低阻硅主要区别是电阻率的大小。
绝缘体上高阻硅材料是上层硅和衬底硅的电阻率大于1千欧·厘米的绝缘体上硅材料。先进射频器件等要求高阻绝缘体上硅衬底和高阻晶圆，高阻衬底将极大地改善无源元件的性能。
低阻硅是硅片掺杂B或者硅片基体含有金属。
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